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使用thermogravimetric分析和表面分析法,对2%Cl2/20%O2/Ar环境中Si3N4陶瓷在1150℃和1350℃时的化学反应进行了研究,在1150℃,SiO2层Cl2有少的渗透趋向,氧扩散穿过SiO2层而发生反应,但在1350℃某些添加物和杂质,向表层和晶养扩散,且Cl2与Si3N4的反应对腐蚀有较大影响。