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基于X射线衍射与吸收理论,提出一种薄膜厚度测量方法即膜下基体衍射法.利用X射线应力仪测量高速钢表面的TiN薄膜厚度,发现利用膜下基体衍射可精确测量薄膜厚度.
用X射线应力仪无损检测薄膜材料厚度
【摘 要】
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基于X射线衍射与吸收理论,提出一种薄膜厚度测量方法即膜下基体衍射法.利用X射线应力仪测量高速钢表面的TiN薄膜厚度,发现利用膜下基体衍射可精确测量薄膜厚度.
【机 构】
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上海交通大学
【出 处】
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无损检测
【发表日期】
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2004年2期
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