ZnO薄膜原子力显微镜图像的多重分形谱

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【摘要】

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用原子力显微镜测定了Si衬底,未退火和退火ZnO薄膜的表面形貌,为了获得AFM图像的多重分形谱,比较了5种计算局域高度分布概率的方法(相对平均高度的方差、相对平均高度的绝对

【作者】

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孙霞熊刚傅竹西吴自勤

【机构】

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中国科学技术大学基础物理中心,合肥,230036中国科学技术大学物理系,合肥,230036;

【出处】

：

物理学报

【发表日期】

：

2000年5期

【关键词】

：

薄膜原子力显微镜显微镜图像多重分形谱 ZnO FILM 标度不变性基准面平均高度方法未退火分布概率粗糙表面表面形貌小概率子集样品计算

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用原子力显微镜测定了Si衬底,未退火和退火ZnO薄膜的表面形貌,为了获得AFM图像的多重分形谱,比较了5种计算局域高度分布概率的方法(相对平均高度的方差、相对平均高度的绝对偏离、以粗糙表面最低点为基准面、以一定深度为基准面和以薄膜平均底面为基准面).发现前三种方法在小概率的子集起主要作用时不能很好地满足标度不变性,后两种方法则能很好地满足标度不变性,其范围可达三个数量级,并且可以对不同样品进行定量的比较.

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