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在三氯氢硅加氢还原生产多晶硅过程中,影响产品品质的因素有:三氯氢硅提纯、三氯氢硅加氢还原和外来杂质等。多晶硅分析要求精度高而分析方法中存在不足,建议从整个多晶硅生产工艺来分析和判断多晶硅杂质产生的原因。
影响多晶硅质量的因素
【摘 要】
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在三氯氢硅加氢还原生产多晶硅过程中,影响产品品质的因素有:三氯氢硅提纯、三氯氢硅加氢还原和外来杂质等。多晶硅分析要求精度高而分析方法中存在不足,建议从整个多晶硅生
【机 构】
：
江西景德半导体新材料有限公司
【出 处】
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氯碱工业
【发表日期】
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2012年09期
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