【摘 要】
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金属材料在实际生活中应用广泛,但其易被摩擦磨损及易被腐蚀的特点成为其广泛应用中的主要障碍。本文介绍利用类金刚石（Diamond-like Carbon,DLC）的高硬度、低摩擦系数、高耐磨
【机 构】
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北京印刷学院等离子体物理及材料研究室
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金属材料在实际生活中应用广泛,但其易被摩擦磨损及易被腐蚀的特点成为其广泛应用中的主要障碍。本文介绍利用类金刚石（Diamond-like Carbon,DLC）的高硬度、低摩擦系数、高耐磨性及高化学稳定性等特点,采用等离子体增强化学气相沉积的方法,以C2H2为碳源、Ar为辅助气体在金属表面沉积DLC薄膜来提高金属的耐磨耐腐蚀性能。薄膜和基底的耐腐蚀测试分别用电化学腐蚀和烟雾腐蚀测量,DLC膜的化学结构和组成通过傅里叶红外光谱仪测量,文中讨论了DLC膜结构和组成对其耐腐蚀性能的影响。
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