微氮硅单晶中新施主的形成特性

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借助于电学测量和低温红外分析技术,研究了微氮硅单昌中新施主的形成特性在650℃长时间热处理后,微氮硅单晶不产生新施主,其中氮破坏了新施主的可能形核中心。低温450℃预退火能促进新施主生成,而高温1050℃预退火样品则同样没有新施主生成。
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