基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tting0226

【摘要】

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讨论用射频等离子体增强化学气相沉积(RFPECVD)工艺,在室温下实现在1Cr18Ni9Ti不锈钢基底上镀类金刚石(DLC)膜.为提高DLC膜的结合力,首先在不锈钢基底上沉积Ti/TiN/TiC功能梯

【作者】

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蔺增巴德纯王志闻立时

【机构】

：

东北大学真空与流体工程研究中心,中国科学院金属研究所

【出处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2004年1期

【关键词】

：

RFPECVD法不锈钢类金刚石薄膜射频等离子体增强化学气相沉积 DLC 摩擦系数 Diamond like carbon (DLC) film Stain

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讨论用射频等离子体增强化学气相沉积(RFPECVD)工艺,在室温下实现在1Cr18Ni9Ti不锈钢基底上镀类金刚石(DLC)膜.为提高DLC膜的结合力,首先在不锈钢基底上沉积Ti/TiN/TiC功能梯度膜.借助所设计的界面过渡层,成功地在不锈钢基底上沉积了一定厚度的DLC膜.通过优化沉积参数,所沉积的DLC膜在与100Cr6钢球对磨时摩擦系数低于0.020.在摩擦过程中DLC膜的磨损机制借助SEM、Raman分析进行了研究.

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