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介绍了硅烷热解法制备多晶硅几种工艺如Komatsu的硅化镁法、UC的歧化法、MEMC的新硅烷法等，指出新硅炕法是一种比较优秀的路线。
硅烷法制备多晶硅工艺的探讨
【摘 要】
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介绍了硅烷热解法制备多晶硅几种工艺如Komatsu的硅化镁法、UC的歧化法、MEMC的新硅烷法等，指出新硅炕法是一种比较优秀的路线。
【机 构】
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惠生工程（中国）河南化工设计院
【出 处】
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河南化工
【发表日期】
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2010年19期
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