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以静电感应晶闸管（ＳＩＴＨ）的长期工艺实践为基础，总结和研究了器件结构参数对ＳＩＴＨ主要性能参数的影响，并分析了其原因，提出了改善ＳＩＴＨ器件性能的工艺和设计方法。
静电感应晶闸管（SITH）的工艺控制和参数调节
【摘 要】
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以静电感应晶闸管（ＳＩＴＨ）的长期工艺实践为基础，总结和研究了器件结构参数对ＳＩＴＨ主要性能参数的影响，并分析了其原因，提出了改善ＳＩＴＨ器件性能的工艺和设计方法。
【机 构】
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兰州大学静电感应器件研究所
【出 处】
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兰州大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1999年2期
【基金项目】
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甘肃省“九五”科技攻关重点项目
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