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采用聚对二甲苯（parylene）作为基底，通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料等进行优化选择和设计，并采用微机电加工工艺（MEMS），设计并研制出了2×8柔性神经微电极阵列，旨在为视网膜神经接口电极的研究开发奠定基础。
柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究
【摘 要】
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采用聚对二甲苯（parylene）作为基底，通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料等进行优化选择和设计，并采用微机电加工工艺（MEMS），设计并研制出了2×8柔性神经微电极阵
【机 构】
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上海交通大学微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海交通大学生命科学技术学院,中国科学院上海微系统与信息技术研究所生物芯片实验室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2008年2期
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