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介绍了阴极真空弧沉积中，弧源在阴极接地和阳极接地２种不同工作状态下的工作特性，发现阳极接地时，因沉积靶室入口法的第二阳极作用。聚焦磁场对弧源放电稳定性的影响不如阴极接地时明显。因此可以加较高煌聚焦磁场，从而获得电流较大和较稳定的沉积离子束。
阴极真空弧沉积中MEVVA源两种工作状态的比较
【摘 要】
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介绍了阴极真空弧沉积中，弧源在阴极接地和阳极接地２种不同工作状态下的工作特性，发现阳极接地时，因沉积靶室入口法的第二阳极作用。聚焦磁场对弧源放电稳定性的影响不如阴极接地
【机 构】
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北京师范大学测试中心,北京师范大学低能核物理研究所
【出 处】
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北京师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1999年3期
【基金项目】
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国家“八六三”计划资助!863－715－008－0040,,国家教育部射线束材料工程实验室资助
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