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用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和扫描隧道同镜（ＳＴＭ）对遭受斜入射Ｏ２离子束轰击的ＩｎＰ表面形貌变化进行了研究。结果表明：波纹状的表面形貌从０．４μｍ的溅射深度开始形成。在溅射深度为０．４－２０μｍ范围，波纹状表面形貌的波及以及无序性均随溅射深度的增加而增加，波长与溅深度有关而与溅射速率无关。研究结果证实由Ｏ２离子束轰击导致的ＩｎＰ表面波纹形貌能够通过在轰击期间旋转样品得到有效抑制。