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报导了电子辐照高阻ＮＴＤ－ＦＺ－Ｓｉ中缺陷态的退火特性。分别采用真空和Ｎ２气保护下进行等时、等温退火，测量了它们的ＤＬＴＳ谱和相应的少数载流子寿命，对两种退火气氛的实验结果进行了分析讨论。
电子辐照高阻NTD FZ Si中缺陷态的退火特性
【摘 要】
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报导了电子辐照高阻ＮＴＤ－ＦＺ－Ｓｉ中缺陷态的退火特性。分别采用真空和Ｎ２气保护下进行等时、等温退火，测量了它们的ＤＬＴＳ谱和相应的少数载流子寿命，对两种退火气氛的实验结果进行了分析讨论。
【机 构】
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郑州大学图书馆,郑州大学物理系
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1998年2期
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