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端面摇摆式微型电磁电机工作原理及运动学分析
端面摇摆式微型电磁电机工作原理及运动学分析
来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ni00ni
【摘 要】
:
介绍了一种新型结构原理的电磁式微电机及其特点,并对电机的转速比进行了理论分析,通过对Φ5mm的试验样机进行初步实验研究,验证了本文提出了的设计思想。
【作 者】
:
贾智
王立鼎
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
:
光学精密工程
【发表日期】
:
1999年4期
【关键词】
:
微电子机械系统
端面摇摆
电磁微电机
运动学
Micro electro mechanical systems(MEMS)
Wobble
Electroma
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介绍了一种新型结构原理的电磁式微电机及其特点,并对电机的转速比进行了理论分析,通过对Φ5mm的试验样机进行初步实验研究,验证了本文提出了的设计思想。
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