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半导体器件应用于不同的领域,其加工工艺和测试分析对于保证器件的性能具有重要意义。本文在分析了半导体器件生产工艺流程上,结合其测试发展现状和测试参数,对半导体器件的生产和测试基本问题进行了讨论,同时对其工艺设计过程及方法也进行了分析。
半导体器件的工艺及测试分析
【摘 要】
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半导体器件应用于不同的领域,其加工工艺和测试分析对于保证器件的性能具有重要意义。本文在分析了半导体器件生产工艺流程上,结合其测试发展现状和测试参数,对半导体器件的
【机 构】
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中国人民解放军第六九零三工厂
【出 处】
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科技资讯
【发表日期】
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2008年35期
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