论文部分内容阅读
采用快速热化学气相沉积(RTCVD)法在Si-SiC陶瓷衬底上直接沉积多晶硅薄膜的研究,属国内首次.采用SEM和XRD两种测试方法分析了沉积外延的表面形貌和薄膜晶向,实验发现在RTCVD工艺中生长的多晶硅薄膜结构致密、晶粒较大,为制备低成本的陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳电池奠定了基础.
SiSiC陶瓷衬底上多晶硅薄膜的结构
【摘 要】
：
采用快速热化学气相沉积(RTCVD)法在Si-SiC陶瓷衬底上直接沉积多晶硅薄膜的研究,属国内首次.采用SEM和XRD两种测试方法分析了沉积外延的表面形貌和薄膜晶向,实验发现在RTCVD
【机 构】
：
北京市太阳能研究所,河北工业大学信息功能材料研究所,清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室
【出 处】
：
太阳能学报
【发表日期】
：
2004年期
【基金项目】
：
国家自然科学基金;国家重点基础研究发展计划(973计划);北京市自然科学基金
其他文献
对20%咪鲜胺·三环唑WP防治水稻稻瘟病(Pyricularia oryzae)田间效果进行了试验。结果表明:该药剂对水稻稻瘟病有较好的防治效果,有效成分用量为150、180、210g/hm2时,对水稻
目的:建立补肾排毒颗粒中黄芪甲苷的HPLC-ELSD测定方法.方法:色谱柱:ZORBAX SB-C18柱(250mm×4.6mm,5μm);流动相:乙腈-水(35:65);柱温:30℃;流速:1.0 ml·min-1;ELSD检测器
谷胱甘肽S-移酶(GST)超家族基因型差异、基因甲基化修饰等与肿瘤易感性和预后相关,在肿瘤的发展和耐药性方面有其重要作用.虽然各家族蛋白结构相似度很高,但不同GST在肿瘤发生发展中有着不同的重要意义.其中,谷胱甘肽S-转移酶μ3与多种肿瘤发生、发展和预后密切相关。
具有一定强度的激光辐照胶合透镜时可造成透镜的破坏.建立了多脉冲激光与材料相互作用的一维非稳态温度场模型,计算了瞬态温度场分布,并对胶合透镜前表面的熔融和胶合材料的
针对薄板状材料, 提出了一种利用复合板共振频率测量未知材料的弹性模量和Poisson比的新方法.首先推导出复合薄板的弯曲共振频率理论公式和径向共振频率理论公式.然后对弹性
提出了一种新型三相统一电能质量控制器(UPQC)的拓扑结构及其相应控制策略。与传统UPQC相比,它特殊的拓扑设计本身就可避免交流短路和直流电容直通故障,因而无需引入变压器等
采用矩阵分解和用有限个复高斯函数之和逼近硬边光阑窗口函数相结合的方法,从柯林斯衍射积分公式出发,对高斯光束通过空间滤波器的传输特性进行了分析,得到了相应的解析式。
介绍并分析了基于IEC 61850标准的变电站监控主站如何利用面向对象建模、抽象服务接口及制造报文规范(MMS)提供的服务,实现设备的自我描述功能；并提出了一个简要的实现设备监
提出了一种基于双频激光回馈效应的位移测量系统,并在理论和实验两方面进行了研究.实验中对激光器输出功率变化进行了探测,同时对两正交偏振光的光强变化进行了探测.研究发现
利用光线追迹法以及分步傅里叶-贝塞耳变换法,考虑了光阑对光束的拦截和通光作用以及激光放大过程中的增益饱和效应,对环形腔调Q钕玻璃激光系统振荡器输出的光束经卡塞格林式