【摘 要】
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本文主要论述了在实际工作中应用纵向定位解剖法观察分析样品深层结构的技术研究和实验结果。目的是提高失效分析工作效率和准确性，解决无法分析缺陷点纵向模式和无法测量电路
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本文主要论述了在实际工作中应用纵向定位解剖法观察分析样品深层结构的技术研究和实验结果。目的是提高失效分析工作效率和准确性，解决无法分析缺陷点纵向模式和无法测量电路阱深、结深、工艺最终尺寸等数据的难题。应用物理和化学方法，借助扫描电镜测量电路内部各层的厚度。
This article mainly discusses the technical research and experimental results of applying longitudinal positioning anatomical method to observe and analyze the deep structure of samples in practical work. The purpose is to improve the efficiency and accuracy of failure analysis, to solve the problem of unable to analyze the longitudinal mode of defects and the inability to measure the well depth, junction depth and the final size of the process. Applying physical and chemical methods, the thickness of the layers inside the circuit is measured by means of scanning electron microscopy.
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