世界最新的抗蚀剂

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日本东京应化工业开发了在不改变半导体批量生长线正在使用的i线步进器,最小线宽0.35μm工艺情况下,用原有的设备达到0.25μm以下工艺处理的超高分辨率阳性型光抗蚀剂“TSOR”。在i线步进器上可分辨 Tokyo, Japan should be the chemical industry has not changed the semiconductor batch growth line is using the i-line stepper, the minimum line width of 0.35μm process conditions, with the original equipment to 0.25μm process to deal with ultra-high resolution positive type Photoresist “TSOR”. Discernable on i-line stepper
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