【摘 要】
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针对原子自旋器件的碱金属气室镀膜层厚度的精确测量，提出了一种基于受抑全反射的膜层厚度测量方法。根据该方法搭建了膜厚测量系统，并进行了实验测试。分析了受抑全反射的基本
【机 构】
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北京航空航天大学惯性技术重点实验室,北京航空航天大学新型惯性仪表与导航技术国防重点学科实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(No.61227902);上海航天科技创新基金资助项目
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针对原子自旋器件的碱金属气室镀膜层厚度的精确测量，提出了一种基于受抑全反射的膜层厚度测量方法。根据该方法搭建了膜厚测量系统，并进行了实验测试。分析了受抑全反射的基本理论和基于受抑全反射的膜厚测量原理，介绍了基于该方法的膜厚测量系统的构成及工作原理并分析了影响系统测量精度的主要因素和解决方案。通过分析和仿真激光器波长的波动、入射角变化以及折射率参数的不准确等对膜厚测量结果的影响评价了系统的性能。最后，利用该系统对镀膜样品进行了测量实验，并利用薄膜分析仪做了对比试验。实验结果表明：该方法的测量结果存在一个2．
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