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介绍了一种用于MEMS设计的六面体网格划分方法。MEMS工艺决定了大部分MEMS模型都是层状结构，本文针对这种结构提出了一种简便的2．5维划分方法，适用于所有面平行于（x，y）平面或者z轴的层状结构。该方法在（x，y）平面内将模型划分为四边形网格，然后在z方向延伸形成六面体。相比于如今使用最多的Sweep划分算法，它在划分前的预处理更少，由于仅仅需要输入划分大小，使得整个划分过程更加方便，速度也比Sweep方法快了10-1000倍，10000个六面体以内的划分可在10s内完成。同时，该方法也可以通过输入工