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介绍利用激光干涉莫尔信号的精密定位方法，给出激光莫尔信号传感器光栅设定角度误差时的莫尔信号位移特性，以此说明了光栅设定的角度倾斜如何影响精密定位装置的定位准确度。
莫尔信号传感器光栅倾斜角度对精密定位准确度的影响
【摘 要】
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介绍利用激光干涉莫尔信号的精密定位方法，给出激光莫尔信号传感器光栅设定角度误差时的莫尔信号位移特性，以此说明了光栅设定的角度倾斜如何影响精密定位装置的定位准确度。
【机 构】
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扬州大学工学院电子工程系,日本爱知工业大学
【出 处】
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机械与电子
【发表日期】
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2000年6期
【基金项目】
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江苏省教育厅留学回国人员科研启动费资助!（苏教外2000－392）
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