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<正> 金刚石薄膜有极高的硬度,是一种高耐磨的材料。在机械、冶金、钻探等方面有广泛的应用前景,可作为切削刀具、钻头等工具涂层;金刚石薄膜对可见、红外光透明,高导热,可作为大功率激光窗口材料;对金刚石薄膜进行特定的掺杂,可制得具有优良特性的P型和N
用XPS对合成金刚石薄膜的评价
【摘 要】
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<正> 金刚石薄膜有极高的硬度,是一种高耐磨的材料。在机械、冶金、钻探等方面有广泛的应用前景,可作为切削刀具、钻头等工具涂层;金刚石薄膜对可见、红外光透明,高导热,可作
【机 构】
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成都科技大学,中科院成都分院分析测试中心
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1990年2期
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