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对HL-2A偏滤器靶板和固定孔栏位置的石墨瓦进行了离线激光诱导击穿光谱（LIBS）测量,比较分析了沉积行为,初步得到了不同位置沉积层粒子种类（Fe、Si、H、D等元素）及其深度的变化。与飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）所得结果进行了对比,发现离子深度变化形貌趋同。根据沉积层有效信号激光数,得到激光烧蚀速率约为270nm/脉冲。