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文章综述了用于制备MEMS器件的几种典型微细加工技术的工艺原理、特点以及研究现状，并展望了这些微细加工技术的发展前景。
制备MEMS器件的微细加工技术：研究现状与展望
【摘 要】
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文章综述了用于制备MEMS器件的几种典型微细加工技术的工艺原理、特点以及研究现状，并展望了这些微细加工技术的发展前景。
【机 构】
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湖北职业技术学院机电工程系
【出 处】
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湖北职业技术学院学报
【发表日期】
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2006年3期
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