【摘 要】
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对微扰法在电子光学系统容差计算中的适用性进行了分析，针对电极偏心和电极加工不圆这两种常见缺陷，研究了２个解析模型－偏心双圆筒电容器和共焦椭圆柱电极，推导了其电位分布的表达
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对微扰法在电子光学系统容差计算中的适用性进行了分析，针对电极偏心和电极加工不圆这两种常见缺陷，研究了２个解析模型－偏心双圆筒电容器和共焦椭圆柱电极，推导了其电位分布的表达式，并用所编写的基于微扰法的计算软件，计算了相应的缺陷电极结构的电场分布，将数值计算结果与解析解对比，得到了微扰法的误差关于电极缺陷与尺寸比的变化曲线。结果表明，形位公差为１￣３级时，微扰法的计算误差仅为１０＾－４，对电子光学器件
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