【摘 要】
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三维微细加工中的ＬＩＧＡ技术是被国际上公认为最有发展前途的一种微机械零部件加工工艺技术，但在我国与之配套的辅助工艺尚不完善，因而限制了其发展速度。我们采用准ＬＩＧＡ工艺技术，以常规的
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三维微细加工中的ＬＩＧＡ技术是被国际上公认为最有发展前途的一种微机械零部件加工工艺技术，但在我国与之配套的辅助工艺尚不完善，因而限制了其发展速度。我们采用准ＬＩＧＡ工艺技术，以常规的紫外光刻方法，成功地制成了具有较高深宽比的微金属齿轮。
LIGA technology in three-dimensional microfabrication is a kind of machining technology of micro-machined parts which is recognized as the most promising in the world. However, the supporting technology in China is not perfect yet, which limits its development speed. We use quasi-LIGA process technology, using conventional UV lithography methods, successfully made with a high aspect ratio of the micro-metal gears.
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