【摘 要】
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纳米定位技术是纳米测量、纳米加工的核心技术之一。在纳米定位技术中,应用最为广泛的定位元件是压电陶瓷执行器。现以具有迟滞非线性的压电陶瓷执行器为对象,展开基于压电陶
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纳米定位技术是纳米测量、纳米加工的核心技术之一。在纳米定位技术中,应用最为广泛的定位元件是压电陶瓷执行器。现以具有迟滞非线性的压电陶瓷执行器为对象,展开基于压电陶瓷执行器驱动的纳米定位系统的跟踪控制方法研究,使用全局滑模控制方法进行控制。实验表明,所采用的全局滑模控制方法使得压电陶瓷执行器的控制精度得到较大的提高。
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