【摘 要】
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为了测定感光材料的光谱灵敏度,通过Code V、Solid Works软件优化设计了一套感光材料光谱灵敏度测定曝光系统。分析比较了在不同入射角、不同光栅线数情况下系统光路结构的差
【机 构】
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教育部光学仪器与系统工程研究中心,上海现代光学系统重点实验室
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划（973计划）（2015cb352001）,国家重大科学仪器设备开发专项（2015cB352001）,上海市科学仪器重点项目（14142200902）,国家自然科学基金（61378060、61205156）
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为了测定感光材料的光谱灵敏度,通过Code V、Solid Works软件优化设计了一套感光材料光谱灵敏度测定曝光系统。分析比较了在不同入射角、不同光栅线数情况下系统光路结构的差异,确定入射角25°、光栅线数为350 L/mm是系统的最优设计。实验结果表明,设计的曝光系统能够产生一个宽201.5 mm,高80 mm,覆盖360nm?900 nm光波长的矩形光谱,经过一个18等级台阶的灰度片使得光谱功率能在0.52 m W?10.65 m W之间进行调节,光谱分辨率能够达到0.021 nm,满足曝光系统的设计要求。
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