【摘 要】
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太阳能电池是通过光电效应或者光化学效应直接或间接地将太阳光转化为电能的装置．太阳能电池减反膜可以减少太阳能电池表面的反射损失，提高其光电转换效率．介绍了一种环氧树脂材料的复合光栅结构减反膜的低成本制备方法．通过激光直写光刻方法制备微米结构光栅模板，用软膜压印方法将微米尺度的光栅模板图案压印到预先拉伸的二甲基硅氧烷薄膜上，固化、脱模和衬底收缩后可使光栅周期大大减小．通过等离子体表面改性法使收缩后的光
【基金项目】
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温州市科技计划项目（S20180015）； 浙江省大学生科技创新活动计划（2019R429044）；
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太阳能电池是通过光电效应或者光化学效应直接或间接地将太阳光转化为电能的装置．太阳能电池减反膜可以减少太阳能电池表面的反射损失，提高其光电转换效率．介绍了一种环氧树脂材料的复合光栅结构减反膜的低成本制备方法．通过激光直写光刻方法制备微米结构光栅模板，用软膜压印方法将微米尺度的光栅模板图案压印到预先拉伸的二甲基硅氧烷薄膜上，固化、脱模和衬底收缩后可使光栅周期大大减小．通过等离子体表面改性法使收缩后的光栅表面产生褶皱纳米光栅结构，形成复合光栅图案．通过软膜压印方法将复合光栅图案转移到环氧树脂减反膜上．实验结果表明，与原微米尺度的光栅减反膜相比，制备的复合光栅减反膜可以将商用晶硅太阳能电池的相对转换效率提升4.26%，相对反射率减小19.43%，并且可以将减反膜表面的水滴接触角提高16°，这将增强太阳能电池的自清洁性能．
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