【摘 要】
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采用离子束刻蚀制备线列熔凝石英柱微透镜阵列，准分子激光扫描消融法淀积性能均匀且稳定性良好的ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ高温超导薄膜，湿法刻蚀制备超导薄膜器件，微透镜阵列与超导薄膜器件用胶粘合构
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采用离子束刻蚀制备线列熔凝石英柱微透镜阵列，准分子激光扫描消融法淀积性能均匀且稳定性良好的ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ高温超导薄膜，湿法刻蚀制备超导薄膜器件，微透镜阵列与超导薄膜器件用胶粘合构成组合红外探测器，测试了组合器件在１～５ｍ红外波段的光响应特性．
YBa2Cu3O7-δ high-temperature superconducting thin films with uniform deposition and good stability were prepared by ion beam lithography, and wet etching was used to prepare superconducting thin film devices. The lens array and the superconducting thin film device are glued together to form a combined infrared detector, and the photoresponse characteristics of the combined device in the infrared band of 1 to 5 m are tested.
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