【摘 要】
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一、概述 近年来,在低真空测量方面,工业上通常采用热传导真空计(热偶计、电阻真空计)或水银真空计。在工业用的真空系统中,如真空冶金、真空镀膜、真空浸渍、制药、造纸等要
【机 构】
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辽宁省计量测试所,力学室抚顺501厂52车间
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一、概述 近年来,在低真空测量方面,工业上通常采用热传导真空计(热偶计、电阻真空计)或水银真空计。在工业用的真空系统中,如真空冶金、真空镀膜、真空浸渍、制药、造纸等要测量的压强常常处在中真空范围(1～10-5乇),因此广泛采用复合计。 热传导真空计测量准确性较差,受环境
First, an overview In recent years, in the low vacuum measurement, the industry usually use heat conduction vacuum gauge (thermocouple meter, resistance vacuum gauge) or mercury vacuum gauge. In industrial vacuum systems such as vacuum metallurgy, vacuum coating, vacuum impregnation, pharmaceuticals, paper making, etc., the pressure to be measured is often in the mid-vacuum range (1 to 10 -5 Torr), so a complex meter is widely used. Heat conduction vacuum gauge measurement accuracy is poor, subject to the environment
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