热压ITO靶材微观组织的电镜观察

来源 :宁夏工程技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xielidan2005
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观察比较了两种热压工艺制造的ITO靶材的微观组织.观察结果显示:两种工艺制造的ITO靶材的微观组织大不相同.符合技术要求的靶材(试样Hy-1,Hy-2,Hy-3)微观组织致密且晶界平直,无任何析出物;而靶材在造成其有缺陷的温度条件下(试样Hy-5,Hy-7,Hy-9)均可观察到有液相形成,并因液相润湿晶界后退润湿不完全而在晶界上形成In,Sn和SnO2析出物,同时在靶材中还存在大量晶界反应不完全.两种靶材微观组织的不同还导致其力学性能产生显著变化,前者的抗弯强度可达到227~244 MPa,而后者的抗弯强
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