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首先研究双端声表面波谐振器的一些特点,然后从SAW技术与有机膜技术结合的角度,分析了采用谐振器(SAWR)对有机气体检测时,膜层引起的质量负载的大小对传感器性能的影响,目的是以更深层的着眼点进一步分析SAWR的使用。
对SAW谐振器气体传感器的表面质量负载与传感器性能之间关系的研究
【摘 要】
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首先研究双端声表面波谐振器的一些特点,然后从SAW技术与有机膜技术结合的角度,分析了采用谐振器(SAWR)对有机气体检测时,膜层引起的质量负载的大小对传感器性能的影响,目的
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系,清华大学精密仪器与机械学系北京100084,北京100084
【出 处】
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测试技术学报
【发表日期】
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1996年2期
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