【摘 要】
：
通过介绍光刻技术的演变和所面临的挑战,揭示下一代光刻技术的发展潜力和研究现状. 通过比较几种具有较大潜力的NGL(浸没式ArF光刻机、极紫外光刻和电子束曝光)的特点、开发
【机 构】
：
中国科学院电工研究所微纳加工研究部
论文部分内容阅读
通过介绍光刻技术的演变和所面临的挑战,揭示下一代光刻技术的发展潜力和研究现状. 通过比较几种具有较大潜力的NGL(浸没式ArF光刻机、极紫外光刻和电子束曝光)的特点、开发现状和有待解决的关键技术,预言将来可能是以极紫外光刻、电子束曝光和某种常规光刻机结合的方式来实现工业、前沿科学技术需要的各种微米/纳米级图形的制备.
其他文献
实验选用了光合细菌、芽孢杆菌、酵母菌、保加利亚乳酸菌为主要菌种按一定比例配制出4种复合菌,并研究了这4种复合菌对水产养殖水体的净化作用.结果显示:"光合细菌组"在提高
<正>在新的历史时期,中国的进步和发展让全世界瞩目,与此同时,"中国威胁论"、"中国军事威胁"等诸多不利于我国安全和国际形象的争议也开始增加。尤其是在网络传播的立体化空
在竞争激烈的年代，对于体量和规模都不存在优势的中小型连锁而言，谁能够打破“千店一面”的格局现状，从众多的“普通”对手中脱颖而出，谁就能够成为区域的王者。
随着大气环境问题的日益严重,烟气除尘已经成为一个重要的研究方向。袋式除尘器是治理大气污染的高效除尘设备,在我国已得到广泛应用。为了有效保证除尘效果,降低成本,将模糊
对福建省人工用材林的投资风险进行实证分析,得出结论:1993—2002年,福建省人工用材林自然灾害风险所造成的平均风险损失较低,这与木材税费下降和人工林优惠政策出台有关;然
农村饮水安全工程建设管理是农村水利发展的重要内容。调研了当前云南农村供水工程管理中存在的8种主要模式,分析了各种模式存在的共性和个性问题及其成因。建议云南应积极探
网红经济顺应了＂互联网＋＂时代的新经济诉求,已成为互联网时代一个不容忽视的经济现象,和其他互联网产业正在共同托起新兴经济产值。然而,新兴网红经济也面临着诸多问题。文章对
建筑暖通安装工程作为建筑工程当中的一项分部工程,其施工过程中产生的质量问题,虽然并不一定会对建筑的结构质量和业主的人身安全产生很大的影响,但是这些质量问题不仅会影
目的探讨Yes相关蛋白(Yes-associated protein,YAP)、星型胶质细胞上调基因-1(astrocyte elevated gene-1,AEG-1)蛋白在宫颈癌癌前病变患者中的表达及联合液基细胞学检查(liq
采用问卷调查法,探讨了大学生的主观幸福感与其成就动机之间的关系,结果表明:大学生的主观幸福感没有性别差异;大学生的成就动机存在显著的性别差异,来自不同家庭背景的大学