SOI定向耦合器研制

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:baobeizhu66
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本文根据大截面单模脊形波导条件和有效折射率法,在硅片直接键合后背面抛光减薄的SOI材料上,通过氢氧化钾各向异性腐蚀的方法,成功地研制出SOI定向耦合器,在波长为1.3μm时,其平均插入损耗为4.8dB,平均串音小于-18.6dB。
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