【摘 要】
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在MEMS谐振器的设计过程中,质量、刚度等集总参数在描述器件动态性能方面起着决定性的作用。因此,集总参数的获取至关重要。传统的集总参数的提取方法有解析法、有限元法、实
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在MEMS谐振器的设计过程中,质量、刚度等集总参数在描述器件动态性能方面起着决定性的作用。因此,集总参数的获取至关重要。传统的集总参数的提取方法有解析法、有限元法、实验法等。但这些方法在提取效率、提取精度方面都存在着固有的缺陷。基于MEMS系统级仿真平台MuPEN,提出了一种由系统级仿真结果提取微谐振器刚度、质量等集总参数的方法。以文献中的微谐振器为例,对该方法进行了验证。首先,通过Mu PEN平台对微谐振器进行系统级建模、仿真、数据拟合等。然后,提取了谐振器的刚度和质量参数,并将仿真提取结果与实验提取结
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