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本文采用 CH4—H2—O2微波等离子体化学气相沉积法在硬质合金基体上沉积金刚石薄膜,研究 YG（WC-Co）及 YT（WC—TiC—Co）两类硬质合金作基体对沉积过程及沉积速率的影响.阶段性研究结果表明,在 YT 类硬质合金上沉积金刚石薄膜的沉积速率和硬度均优于在 YG 类上的,TiC 对金刚石薄膜的沉积效果有明显的有利作用.本文还用扫描电镜观察分析了金刚石薄膜的形核长大过程.