【摘 要】
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研究开发透明导电氧化物(TCO)薄膜技术,对提高异质结电池光电转换效率、进一步提升发电量、降低度电成本具有促进作用。分析了异质结电池的结构机理及性能优势,并在特定的实验条件下采用单一变量法通过对比分析研究了氧氩比(O2/Ar2)对IWO薄膜透光率、方块电阻的影响及沉积时间对IWO薄膜电导率的影响。通过分析实验结果得到如下结论,随着氧氩比增加,薄膜的平均透光率降低;随着氧氩比增加,方块电阻先升后降;随着沉积时间增加,薄膜的电导率越来越高,沉积时间超过30min后薄
【机 构】
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青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司
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研究开发透明导电氧化物(TCO)薄膜技术,对提高异质结电池光电转换效率、进一步提升发电量、降低度电成本具有促进作用。分析了异质结电池的结构机理及性能优势,并在特定的实验条件下采用单一变量法通过对比分析研究了氧氩比(O2/Ar2)对IWO薄膜透光率、方块电阻的影响及沉积时间对IWO薄膜电导率的影响。通过分析实验结果得到如下结论,随着氧氩比增加,薄膜的平均透光率降低;随着氧氩比增加,方块电阻先升后降;随着沉积时间增加,薄膜的电导率越来越高,沉积时间超过30min后薄
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