表面功能特性分形分析

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:summercoming1
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表面分形分析已开展多年,虽然在涉及制造过程控制方面时出现过一些争论,但已获得了许多有意义的结果与此同时,用分形来研究表面功能特性所取得的进展有限,其原因之一是,以前分形的重点在于功率谱,而不是对于空间更为敏感的自相关函数.基于此,笔者首次将分形参数引入到基于自相关系数的表面功能参数.进展有限的另一原因是,与表面功能相关的许多确定性实验没有将分形参数包含在参数集中,这主要是由于过去没有能够给出分形参数的表面光洁度仪器,从而失去了确定分形参数价值的可能性.文中提出了一种新的、简单的测量分形特性的方法,它不仅能
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