多光束共焦三维测量系统误差的标定及校正

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bodeying123
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由于具有非接触、精度高、测量速度快的特点,多光束共焦测量已经成为一种重要的光学三维测量手段。文章分析了系统中存在的像差,并对第二类像差(焦平面弯曲)提出了测量和标定的方法,即通过测量平面镜来获取系统误差,通过对测量结果的球面拟合来进行标定,利用标定值即可进行系统误差的校正。采用此种方法可简化光学系统设计,降低系统制造费用。最后给出了试验的结果。
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