TFA-MOD方法制备YBCO超导薄膜研究

来源 :低温物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：boluoqb

【摘要】

：

采用TFA-MOD方法在LaAlO3(001)单晶基片上制备了性能良好的YBCO超导薄膜:临界电流密度(Jc)可达3MA/cm2(77K,0T),超导转变温度Tc≈90K,转变宽度ΔTc=0.5K,其一次涂层厚度达338

【作者】

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崔旭梅陶伯万陈家俊李言荣刘兴钊

【机构】

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电子科技大学微电子与固体电子学院,电子科技大学微电子与固体电子学院

【出处】

：

低温物理学报

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

TFA-MOD YBCO 超导薄膜 YBCO超导薄膜制备临界电流密度超导转变温度 YBCO薄膜晶粒生长 X射线衍射 SEM分析涂层厚度 TFA-MOD

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采用TFA-MOD方法在LaAlO3(001)单晶基片上制备了性能良好的YBCO超导薄膜:临界电流密度(Jc)可达3MA/cm2(77K,0T),超导转变温度Tc≈90K,转变宽度ΔTc=0.5K,其一次涂层厚度达338nm.通过X射线衍射(XRD)分析表明YBCO具有纯c-轴取向、无a-轴取向的晶粒存在.ω扫描分析表明该YBCO薄膜具有很好的面外外延性,其摇摆曲线的半高宽(FWHM)为0.653°. 用SEM分析也表明膜的表面无裂纹存在,表面平整,没有a轴晶粒生长.

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