【摘 要】
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TiO2是高折射率（n=2．7）、大介电常数（ε=114）和半导体微电子结构特点。它的薄膜（d〈1μm时）是具有光学宽透明波限的优异光电子基质材料。在概述TiO2薄膜制备工艺过程及其对TiO2镀膜
【机 构】
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北京有色金属研究总院矿物资源与冶金材料研究所,北京理工大学信息科学技术学院,利达光电股份有限公司
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TiO2是高折射率（n=2．7）、大介电常数（ε=114）和半导体微电子结构特点。它的薄膜（d〈1μm时）是具有光学宽透明波限的优异光电子基质材料。在概述TiO2薄膜制备工艺过程及其对TiO2镀膜材料技术要求的基础上，有针对性地分析了薄膜的光电作用机制，重点介绍TiO2薄膜的光电特性及其在民用和高技术领域的具体应用情况，如光反射、光增透、光吸收、太阳能电池、太阳能集热、半导体介电性能等。
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