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本文介绍BPSG膜的沉积、性质及采用BPSG膜作回流介质层和表面钝化层.实验结果证明,在提高器件的可靠性、稳定性和成品率等方面BPSG膜均优于PSG膜.
BPSG膜的沉积、性质及其应用
【摘 要】
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本文介绍BPSG膜的沉积、性质及采用BPSG膜作回流介质层和表面钝化层.实验结果证明,在提高器件的可靠性、稳定性和成品率等方面BPSG膜均优于PSG膜.
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1989年02期
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