论文部分内容阅读
为了克服传统SOI器件的浮体效应和自热效应，采用创新的工艺方法将低剂量局域SIMOX工艺及传统的CMOS工艺结合，实现了DSOI结构的器件。测试结果表明，该器件消除了传统SOI器件的浮体效应，同时自热效应得到很大的改善，提高了可靠性和稳定性，而原先SOI器件具备的优点得到了保留。
一种采用局域注氧技术制备的新型DSOI器件
【摘 要】
：
为了克服传统SOI器件的浮体效应和自热效应，采用创新的工艺方法将低剂量局域SIMOX工艺及传统的CMOS工艺结合，实现了DSOI结构的器件。测试结果表明，该器件消除了传统SOI器件的浮
【机 构】
：
清华大学微电子学研究所,中国科学院上海冶金研究所离子束实验室
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
2003年6期
【基金项目】
：
国家自然科学基金 (批准号 :5 9995 5 5 0 -1),,国家重点基础研究专项经费 (编号 :G2 0 0 0 0 365 0 1)资助项目~~
其他文献
梁漱溟作为中国20世纪上半叶一位影响深远的思想家，以其特有的知识结构会通中西，统领古今。探文化之源，索文化之本，解文化之变，求文化之路，建构了一个较为完备的文化哲学体系，为我们
艰苦朴素精神是中华民族优秀的革命传统，但随着时代的发展和人民生活水平的提高，人们开始不太重视这些，甚至有人提出疑问：“既然现在国家提倡扩大内需，对大学生艰苦朴素精神教育进
新中国成立以来中国特色社会主义理论基础奠定即是马克思主义哲学在中国化的过程中与不同社会思想的交锋密不可分。马克思主义哲学中国化的每一阶段的理论成果，无不是社会各界