【摘 要】
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本文发明了一种玻璃烧结后的GPP硅片氧化层的新型处理方法,包括:取烧结后的硅片,在混合酸溶液中处理4~10min,流动水冲洗14~16min,超声波超声清洗180~300min。本方法在不破坏
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本文发明了一种玻璃烧结后的GPP硅片氧化层的新型处理方法,包括:取烧结后的硅片,在混合酸溶液中处理4~10min,流动水冲洗14~16min,超声波超声清洗180~300min。本方法在不破坏玻璃的前提下快速的去除氧化层,使硅片镍层更加均匀,产品质量更加稳定,提升了机械良率,缩短了生产周期,降低了生产成本。
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