氧化锌薄膜的p型掺杂研究现状

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ZnO薄膜作为一种多用途的光电材料,一直受到国内外学术界的广泛关注.为了开发ZnO短波长光电器件,首要解决的关键问题是氧化锌的p型掺杂.综述了目前国际上常用的氧化锌p型掺杂方法,对不同方法制备的p型ZnO薄膜的性能进行了分析比较.
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