【摘 要】
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采用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了高质量的Nb掺杂ZnO（NZO）透明导电薄膜。为了研究薄膜厚度对薄膜性质的影响,制备了五个厚度分别为239 nm,355 nm,489 nm,575 nm和679 nm的
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采用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了高质量的Nb掺杂ZnO（NZO）透明导电薄膜。为了研究薄膜厚度对薄膜性质的影响,制备了五个厚度分别为239 nm,355 nm,489 nm,575 nm和679 nm的样品。XRD结果表明,ZnO∶Nb薄膜是具有六角纤锌矿结构的多晶薄膜,并且具有垂直于衬底的c轴择优取向。随着膜厚的增加,薄膜的结晶质量明显提高。当厚度从239 nm增加到489 nm时,平均晶粒尺寸从19.7 nm增加到24.7 nm,薄膜的电阻率持续减小;当厚度进一步增加时,晶粒尺寸略有减小,电阻率有
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