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用斜置的四探针方法，依靠显微镜观察，将针尖置于微区图形的四个角区，用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻。本文对测准条件作了分析。并用该仪器测定了硼扩散片的薄层电阻分布。在测试过程中应用微处理器，加快了计算速度。
微区薄层电阻四探针测试仪及其应用
【摘 要】
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用斜置的四探针方法，依靠显微镜观察，将针尖置于微区图形的四个角区，用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻。本文对测准条件作了分析。并用该仪器测定了硼扩散片的薄层电阻
【机 构】
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河北工业大学电气信息学院
【出 处】
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现代仪器
【发表日期】
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2000年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助课题,天津市发明三等奖(1998),天津市技术监督局认定(1997)
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