微区薄层电阻相关论文
随着科学技术的飞速发展，计算机不断更新换代，存储容量在不断的增长，作为其基础元件的集成电路已由超大规模(VLSI)向甚大规模(ULSI)阶......
用斜置的四探针方法 ,依靠显微镜观察 ,将针尖置于微区图形的四个角区 ,用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻。文中对测准条......
用斜置的四探针方法，依靠显微镜观察，将针尖置于微区图形的四个角区，用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻。本文对测准条件作了......
在分析薄层电阻测试方法及原理基础上,利用NI LabVIEW软件及NI ELVIS硬件完成改进的范德堡法的测试系统设计。硬件电路的数据采集......
利用改进的Rymaszewski法自动消除探针纵向游移影响的优点,将它应用于斜置式方形探针测试法中;在斜置式方形四探针机械平台的基础......
用伴置的四探针方法，依告显微镜观察，将针尖置于微区图形的四个角区，用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻，文中对测准条件作了分......
对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述,特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分......
随着科学技术的飞速发展，作为计算机的基础元件——集成电路已由超大规模(VLSI)向甚大规模(ULSI)发展。图形日益微细化，电路尺寸不断......
本文利用微区薄层电阻测试的一种斜置四探针新方法，将扩散微区薄层电阻测试结果绘成全乍的灰度图，这种微区薄层电阻测试Ｍａｐｐｉｎｇ技术十分有利......
论述了一种测试大型硅片电阻率均匀性的新方法———电阻抗成像技术(EIT)。给出了四探针的基本原理,指出EIT的基本思想来源于四探......
在计算机技术飞速发展的今天,计算机的存储容量日益增大,这样就对集成电路的制造工艺提出了更高的要求,要求集成电路的图形更加微......
随着电子科学技术的发展,各种电子设备的电路尺寸越来越小,集成化程度越来越高,这就要求制作电路的核心材料---半导体材料的各种电......
