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光学表面疵病的激光频谱分析法及其自动检测仪
光学表面疵病的激光频谱分析法及其自动检测仪
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:foxdeng
【摘 要】
:
光学零件表面疵病的自动检测长期以来一直是人们期待解决的问题,本文依据表面疵病的衍射性质,提出了一种有效的疵病自动检测方法-激光频谱分析法,并以此为原理设计了测试仪器,获得
【作 者】
:
张晓
杨国光
程上彝
左丹微
【机 构】
:
浙江大学,国家现代光仪器重点实验室
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
1994年4期
【关键词】
:
频谱分析法
检测方法
光学零件表面疵病
检测仪
光学表面
后向衍射
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光学零件表面疵病的自动检测长期以来一直是人们期待解决的问题,本文依据表面疵病的衍射性质,提出了一种有效的疵病自动检测方法-激光频谱分析法,并以此为原理设计了测试仪器,获得了较好的实验测试结果。
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