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光学零件表面疵病的自动检测长期以来一直是人们期待解决的问题，本文依据表面疵病的衍射性质，提出了一种有效的疵病自动检测方法－激光频谱分析法，并以此为原理设计了测试仪器，获得了较好的实验测试结果。
光学表面疵病的激光频谱分析法及其自动检测仪
【摘 要】
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光学零件表面疵病的自动检测长期以来一直是人们期待解决的问题，本文依据表面疵病的衍射性质，提出了一种有效的疵病自动检测方法－激光频谱分析法，并以此为原理设计了测试仪器，获得
【机 构】
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浙江大学,国家现代光仪器重点实验室
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1994年4期
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